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    1. 各ウェハー製品仕様

      ダストフリーウェハー
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      項目 Unit 仕様
      サイズ inch 2 3 4 5 6 8 12
      製法 - CZ / FZ
      タイプ - P or N
      ドーパント - B / P / As / Sb / ノンドープ
      結晶方位 -
      厚み μm 280 380 525 525/625 625 725 775
      厚み公差 μm 20 20 25 25 25 25 25
      抵抗値 Ω?cm 0.001~10000Ω
      オリフラ - ○/ノッチ ノッチ
      パーティクル Lv 0.3μm以上10個以下(≧0.3μm ≦10ea)
      面狀態 - 片面ミラー 両面ミラー
      數量 lot 25枚
      梱包形態 - ウェハーケース+クリーンパック
      備考 - *高精度ウェハーお問い合わせください。
      *低パーティクルウェハーお問い合わせください。
      *各種膜付けお問い合わせください。

      ダミーウェハー

      項目 Unit 仕様
      サイズ inch 2 3 4 5 6 8 12
      タイプ - P or N / 不問
      結晶方位 -
      厚み μm 280 380 525 525/625 625 725 775
      厚み公差 μm 20 20 25 25 25 25 25
      抵抗値 Ω?cm 不問
      オリフラ - ノッチ ノッチ
      パーティクル Lv 不問
      面狀態 - 片面ミラー 両面ミラー
      數量 lot 25枚
      梱包形態 - コインロール(重ね合わせ)
      備考 - -

      SOIウェハー

      項目 Unit 仕様
      サイズ inch 2 3 4 5 6 8
      活性層 Unit 仕様
      製法 - CZ / FZ
      タイプ?導電型 - P / N / ノンドープ
      ドーパント - B / P / As / Sb
      結晶方位 -
      厚み μm 1.5-500
      抵抗値 Ω·cm 0.001至10000Ω
      埋め込み酸化膜 μm 0.05?10
      支持基盤 - 仕様
      製法 Lv CZ / FZ
      タイプ?導電型 - P / N / ノンドープ
      ドーパント - B / P / As / Sb
      結晶方位 -
      厚み μm JEITA?SEMI標準 / 100 ~ 2000
      抵抗値 Ω? cm 0.01?10000Ω
      備考 Ω? cm *製法やドーパントの種類によって対応できる値が異なります

      Wafer Dimension Specification SEMI-JEIDA 比較表

                              
      DIAMETERDimensionSEMI50.8-76.280 90 100 125150200
      JEIDA 50 60 76 - 90 100 125 150 200



      ToleranceSEMI 0.38 - 0.63 - 0.5 0.5 0.2 0.2 0.2



      JEIDA 0.5 0.5 0.50.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5



      THICKNESSDimensionSEMI0.279-0.3810.4 0.475 0.52 0.6250.6250.6750.725
      JEIDA 0.28 0.33 0.38- 0.475 0.525 0.625 0.625 0.725



      ToleranceSEMI 0.025 - 0.025 0.025 0.025 0.02 0.02 0.02 0.02



      JEIDA 0.010 0.015 0.015 - 0.025 0.015 0.0150.0150.025



      PRIMARYDimensionSEMI15.88 - 22.22 22 27 32.5 42.5 57.5 57.5


      FLAT LENGTHJEIDA 17.5 20 22 - 27 32.5 42.5 47.5 57.5



      ToleranceSEMI1.65 - 3.17 3 3 2.5 2.5 2.5 2.5



      JEIDA 2.52.52.5- 2.5 2.5 2.5 2.5 2.5


      SECONDARYDimensionSEMI8 - 11.18 11.5 13.5 18 27.5 37.5 NO 2nd flat


      FLAT LENGTHJEIDA ---- - - - - -


      BOW MAXDimensionSEMI0.038 - 0.04 0.04 0.04 0.04 0.040.060.065


      JEIDA ---- - - - - -


      TOTAL THICKNESSDimensionSEMI0.012 - 0.025 0.025 0.025 0.01 0.010.01 0.01


      VARIATIONJEIDA 0.015 0.02 0.025 - 0.025 0.025 0.025 0.025 0.025


      PROFILEDimensionSEMI0.093      - 0.127 0.133 0.158 0.175 0.208 0.208 0.225 0.242


      VARIATION---- - - - - --


      小批量銷售日本產高品質半導體
      電子元件制造用硅片