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    1. 各ウェハー製品仕様

      ダストフリーウェハー
         在庫情報はこちらをご覧ください

      項目Unit仕様
      サイズinch23456812
      製法-CZ / FZ
      タイプ-P or N
      ドーパント-B / P / As / Sb / ノンドープ
      結晶方位-
      厚みμm280380525525/625625725775
      厚み公差μm20202525252525
      抵抗値Ω?cm0.001~10000Ω
      オリフラ-○/ノッチノッチ
      パーティクルLv0.3μm以上10個以下(≧0.3μm ≦10ea)
      面狀態-片面ミラー両面ミラー
      數量lot25枚
      梱包形態-ウェハーケース+クリーンパック
      備考-*高精度ウェハーお問い合わせください。
      *低パーティクルウェハーお問い合わせください。
      *各種膜付けお問い合わせください。

      ダミーウェハー

      項目Unit仕様
      サイズinch23456812
      タイプ-P or N / 不問
      結晶方位-
      厚みμm280380525525/625625725775
      厚み公差μm20202525252525
      抵抗値Ω?cm不問
      オリフラ-ノッチノッチ
      パーティクルLv不問
      面狀態-片面ミラー両面ミラー
      數量lot25枚
      梱包形態-コインロール(重ね合わせ)
      備考--

      SOIウェハー

      項目Unit仕様
      サイズinch234568
      活性層Unit仕様
      製法-CZ / FZ
      タイプ?導電型-P / N / ノンドープ
      ドーパント-B / P / As / Sb
      結晶方位-

      厚みμm1.5-500
      抵抗値Ω·cm0.001至10000Ω
      埋め込み酸化膜μm0.05?10
      支持基盤-仕様
      製法LvCZ / FZ
      タイプ?導電型-P / N / ノンドープ
      ドーパント-B / P / As / Sb
      結晶方位-

      厚みμmJEITA?SEMI標準 / 100 ~ 2000
      抵抗値Ω? cm0.01?10000Ω
      備考Ω? cm*製法やドーパントの種類によって対応できる値が異なります

      Wafer Dimension Specification SEMI-JEIDA 比較表

                              
      DIAMETERDimensionSEMI50.8-76.280 90 100 125150200
      JEIDA 50 60 76 - 90 100 125 150 200



      ToleranceSEMI 0.38 - 0.63 - 0.5 0.5 0.2 0.2 0.2



      JEIDA 0.5 0.5 0.50.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5



      THICKNESSDimensionSEMI0.279-0.3810.4 0.475 0.52 0.6250.6250.6750.725
      JEIDA 0.28 0.33 0.38- 0.475 0.525 0.625 0.625 0.725



      ToleranceSEMI 0.025 - 0.025 0.025 0.025 0.02 0.02 0.02 0.02



      JEIDA 0.010 0.015 0.015 - 0.025 0.015 0.0150.0150.025



      PRIMARYDimensionSEMI15.88 - 22.22 22 27 32.5 42.5 57.5 57.5


      FLAT LENGTHJEIDA 17.5 20 22 - 27 32.5 42.5 47.5 57.5



      ToleranceSEMI1.65 - 3.17 3 3 2.5 2.5 2.5 2.5



      JEIDA 2.52.52.5- 2.5 2.5 2.5 2.5 2.5


      SECONDARYDimensionSEMI8 - 11.18 11.5 13.5 18 27.5 37.5 NO 2nd flat


      FLAT LENGTHJEIDA ---- - - - - -


      BOW MAXDimensionSEMI0.038 - 0.04 0.04 0.04 0.04 0.040.060.065


      JEIDA ---- - - - - -


      TOTAL THICKNESSDimensionSEMI0.012 - 0.025 0.025 0.025 0.01 0.010.01 0.01


      VARIATIONJEIDA 0.015 0.02 0.025 - 0.025 0.025 0.025 0.025 0.025


      PROFILEDimensionSEMI0.093      - 0.127 0.133 0.158 0.175 0.208 0.208 0.225 0.242


      VARIATION---- - - - - --


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